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カメカ事業部
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カメカ事業部
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高感度表面元素分析
  • 二次イオン質量分析計
  • 波長分散型X線マイクロアナライザ
  • 低エネルギーX線分析計
  • 3次元アトムプローブ

カメカは半世紀以上にわたり高感度表面分析装置の開発を続けております。EPMAや高質量分解能分析を可能とするセクタ型SIMSに加え、レーザーアシスト型3次元アトムプローブは金属物理学分野、最先端半導体等の高精度構造解析に大きく貢献しております。

【取扱製品】


IMS 7f-Auto
セクタ型ダイナミック二次イオン質量分析計 SIMS

●高感度深さ方向分析
●元素マッピング
LEAP 5000 / EIKOS
レーザーアシスト型3次元アトムプローブ 3DAP

●各種材料の原子レベルの3次元構造解析
●定性・定量

IMS 7f-Auto           cameca leap5000           


NanoSIMS 50L
セクタ型ダイナミック二次イオン質量分析計 SIMS
●高二次元分解能
 微小領域元素マッピング
●同位体分析
IMS 1300-HR³ / CLEORA
セクタ型ダイナミック二次イオン質量分析 SIMS
●地球科学/宇宙物理
 年代測定用高精度同位体分析

NanoSIMS50L          cameca  IMS1300-HR3


SC Ultra / IMS Wf
セクタ型ダイナミック二次イオン質量分析計 SIMS
●高感度深さ方向分析
●極浅領域の高精度深さ分布
●300mmウェハ全面分析対応
(IMS Wf)
SIMS 4550
四重極型ダイナミック二次イオン質量分析計 SIMS
●高感度深さ方向分析
●極浅領域の高精度深さ分布


        SC Ultra / IMS Wf          SIMS 4550


EX-300
低エネルギーX線分析法 LEXES

●300mmウェハ全面分析対応、非破壊非接触、
多重積層膜対応
●超低エネルギーイオン注入試料、
薄膜成分の定量
 SXFive
波長分散型電子線マイクロプローブ EPMA        

●各種材料の定性定量分析
●元素マッピング
 (電界放出型電子銃搭載対応可)

        EX-300  SXFive


 詳しくはこちらをご覧ください。  

 

 

 

 

 

 

 

 
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