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TMC事業部
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TMC事業部

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最先端の微小振動アクティブ除振装置

  • アクティブ除振制御システム
  • アクティブXiシリーズ
  • アクティブ磁場キャンセルシステム
  • 空気式パッシブ防振システム
  • 防音システム
  • 光学定磐、ハニカムベンチ 
  • 精密位置制御システム
  • 精密装置設置環境測定サービス

TMCは半導体製造装置、検査装置、フォトニクス、および生命科学分野における環境ノイズ(振動、騒音、磁場)をキャンセルするパッシブ・アクティブシステム及びその周辺関連装置の開発、設計、製造を手掛ける世界トップ専門メーカです。

【取扱商品】


STACIS®Ⅲ
世界最新のアクティブ除振システムです。STACIS®には高精度の加速度センサーと高い信頼性を有する最新圧電アクチュエーターが搭載されています。床の振動を検知し、リアルタイムで除振を行います。振動制御は0.6Hzの間で行われます。空気使用しないため、装置自身が非常に硬く、制振性に優れています。
 tmc stacis3 

 tmc stage base  Stage-Base™
優れた超低周波域において防振能力と優れた制振性を有し、ステージを含む精密装置の防振に優れています。フレームや架台上に設置可能です。

SEM-Base®Ⅵ
TMCがとくいとする調整中は域で振動制御を生かし、設置環境に非常に敏感なSEMへの応用を配慮した専用アクティブ除振用ベースです。
 tmc sem base 4 

Mag-NetX 電磁フィールドキャンセラー  Mag-NetXTM
SEM, STEM, EBリソグラフィシステム、イオンビーム装置およびその他の関連装置にとって理想的な磁場キャンセルシステムです。TMCの優れた振動キャンセルシステムと併用することによって、振動と磁場に対しての究極のコントロールシステムが実現されます。

空気式高性能
防振テーブル

Free-Standing
空気式ポスト

クラス1クリーントップ
 光学テーブル

OEMデザイン可能な
防音システム 
 

 tmc 500  tmc post  tmc 790  tmc oem

詳しくはこちらをご覧ください。

 

 

 

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