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ザイゴ事業部

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干渉計の先駆として高精度メトロロジーソリューションをご提案

  • 光学メトロロジー (顕微鏡タイプ白色光干渉計、レーザ干渉形式形状測定機)
  • 精密位置決めソリューション (レーザヘッド、光学干渉ユニット、測定ボード、OEM商品)
  • 高精度光学製品 (カスタム光学部品、高精度光学システム)

【取扱商品】


表面形状測定機: Nexview, NewView8000 シリーズ、Nomad, Zegage シリーズ

大型パネル測定システム: APM650
  • スキャンニング白色光干渉計(高精度タイプから現場向けタイプ、及び機上・大型部品上での測定可能タイプ)
  • 高精度、高速(数秒)、高安定でワークの形状、表面粗さの測定解析。大型パネル測定、動的測定、膜厚アプリにも対応。

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           Nexview
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            NewView
    zygo 3
               Nomad
 zygo 4
            Zegage
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        APM650


レーザ干渉計形状測定機: DynaFiz, Verifire シリーズ 
  • ダイナミック計測、高精度光学部品の形状<平面、球面、非球面>、透過波面、homogeneity測定、波長シフトタイプにより平行平板測定

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                標準干渉計
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        非球面測定用干渉計
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              大型干渉計
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   Stitching機能付縦型干渉計
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  12インチ縦型干渉計

高精度光学部品 (セラミックス、SiC、複合材料の加工、研磨、コーティング)
精密位置決めシステム (高精度ステージの位置決め用レーザヘッド、光学干渉ユニット及び制御基板)
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詳しくはこちらをご覧ください



 

 

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